Jedno znajduje się w Międzyuczelnianym Centrum Dydaktyczno-Technologicznym z powierzchnią użytkową wynoszącą 350 m², drugie w Laboratorium Nanotechnologii i Struktur Półprzewodnikowych o powierzchni 250 m². Oba laboratoria wyposażone są w systemy zaopatrujące: wysokiej czystości wodór oraz azot klasy 7N, trzy niezależne systemy wody dejonizowanej, wodę lodową oraz sprężone powietrze.

• System epitaksjalny AIXTRON MOVPE z wertykalnym reaktorem 3x2 typu Close Coupled Showerhead
• System epitaksjalny MOVPE z kwarcowym reaktorem AIXTRON R&D 200 
• System odparowywania i rozpylania warstw metalu Kurt J. Lesker UHV
• System reaktywnego trawienia Oxford Instruments PlasmaLab 80 Plus
• System osadzania chemicznego z fazy gazowej ze wspomaganiem plazmowym Oxford Instruments PlasmaLab 80 Plus 
• System plazmy sprzężonej indukcyjnie ICP CVD oraz wzrostu warstw diamentopodobnych DLC Oxford Instruments PlasmaLab 100
• Systemy elektronolitografii i litografii optycznej
• Bonder Delvotech 

• Skaningowy mikroskop elektronowy SEM Hitachi SU 6600 z rozszerzeniem EDX do analizy chemicznej 
• Zestaw do analizy spektralnej w zakresie od 350 do 1700 nm (reflektancja, fotoluminescencja, transmitancja, pomiary kolorometryczne)
• Mikroskop sił atomowych AFM Veeco MultiMode wyposażony w kontroler NanoScope V
• System pomiaru metodą wysokorozdzielczej dyfrakcji rentgenowskiej HRXRD Phillips MRD
• Zestaw BioRad do optycznej i elektrycznej charakteryzacji struktur półprzewodnikowych (pomiary I-V, C-V, EC-V i PVS)